等離子體診斷

ESPion高級(jí)朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、準(zhǔn)確地進(jìn)行等離子體診斷，是先進(jìn)可靠的Langmuir探針。

·Hiden在被動(dòng)射頻補(bǔ)償方面處于較高地位，在所有的商業(yè)化探針中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 

·參考探針補(bǔ)償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(如，反應(yīng)室內(nèi)腔陽極氧化所致) 或噪音(如，供電源引起)。

·高溫等離子體操作時(shí)的氣體制冷多感應(yīng)器鏈，使用者可調(diào)諧至其他頻率。

·獲得數(shù)據(jù)速度：15scans/s

·通過D-O-E-界面可以自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng)分析

·300、600、915mm 自動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)器可選，互鎖隔離閥

·90°探針，組合式線性－旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器可選

·ESPion 是所有商業(yè)化探針中快速的脈沖等離子體探針

·ESPsoft 包括所有必需的標(biāo)準(zhǔn)脈沖選通電路

·自清洗循環(huán)，防止探針污染

·等離子體診斷經(jīng)由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制