等離子體質量和能量分析儀

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀應用：

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設定條件
· 通過視口、接地電極和驅動電極進行分析

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀特點：

1、軟件控制的離子汲取光學系統，以使等離子體擾動z小
2、45°靜電扇區分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內，離子行程的z小擾動，及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu
5、高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器，有7個數量級的動態范圍
6、可調諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質譜分析
7、Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
8、信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布隨時間的變化
9、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft。