隨著質(zhì)譜技術(shù)的高速發(fā)展，作為一種分壓力測(cè)量?jī)x器的四極質(zhì)譜儀被用檢測(cè)物質(zhì)含量和鑒定物質(zhì)類(lèi)別。它采用的是兩級(jí)抽氣結(jié)構(gòu)，前級(jí)為機(jī)械泵，后級(jí)為分子渦輪泵。工作時(shí)，先由前級(jí)泵，將真空腔內(nèi)的壓強(qiáng)降低幾個(gè)數(shù)量級(jí)，再由后級(jí)泵降至工作所需壓強(qiáng)。具有體積小、質(zhì)量輕、可選示漏氣體廣等諸多優(yōu)點(diǎn)，可以在真空泄漏檢測(cè)領(lǐng)域中發(fā)揮更大的作用。